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广州潽拓光--英国爱德华iH1800干式真空泵

概述：爱德华半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。英国爱德华iH1800干式真空泵维修

技术参数如下：

英国爱德华iH1800干式真空泵功能和优势：优化了设施消耗。无需预防性维护。悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。在节省功率的同时提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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阿尔卡特 adixen Alcatel ATH1300M

ATH 1300 MT

ATH 1600 MT

Integral heater band

Maintaining the pumps internal surface up to 75°C

to prevent the condensation effect.

Temperature regulated by the ACT controller, or by

the customer device.

ATH1300_1600_M_MT_Manual参数如下

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